单工位大口径快速退火炉

来源：爱游戏官网首页    发布时间：2024-02-24 03:34:02

  安徽贝意克设备技术有限公司坐落在合肥市高新区科学大道110号，是一家专注于新材料、新能源、装备设备的研发生产与一体的*，合肥市科技小巨人培育企业。企业具有多名专家顾问，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。企业具有400平米的重点实验室，部分实验室对外开放。涉及领域包括，石墨烯、碳纳米管、高温荧光粉、OLED有机小分子材料、PECVD系统等。另外企业具有智能高低温CVD系统、各种真空气氛管式炉，各种高低温箱式炉、等离子清理洗涤设施、RF溅射设备、各种压力的手动自动压片机、各种功能尺寸的手套箱、各种功能的球磨机、金属陶瓷切磨抛设备、氧化锆齿科烧结炉等设备。

  该款设备是由单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、进出气口及操作控制界面组成，内控热电偶用于控制RTP滑轨炉内的温度，伺服电机用于控制丝杆的转动速度达到精确控制炉管（样品）移除炉膛的速度，从而用于调节炉管（样品）的降温速度，与之相反能够获得较快的升温速率；出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取，进气口除用于通入保护气体或反应气体外，还能够适用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温，以此获得较高的降温速率。

  设备组成：单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、流量控制管理系统及工控电脑操作系统。

  该加热系统采用制造工艺，造型新颖结构符合常理，炉体炉管可实现自动分离，炉体上下两半设计，气动弹簧支撑结构让操作者可各角度自由打开，安全可靠。炉胆使用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高温保护涂层，除能够保持其能量的损耗，还能增强高温稳定性，可有实际效果的减少热能损耗。

  该滑轨炉加热系统由红外灯管加热，采用内插热电偶控温的方式实时显示石英腔体内部温度，加热区长度为370mm，恒温区长度200mm，确保两个100*100mm的夹具可放置在恒温区内，为让样品在炉管内的中心位置，考虑石英置物架的高度，石英管管径综合考虑在210mm，恒温区200mm内的温场均匀性控制在5℃，升温速率30℃/s,整个石英腔体直接划出炉膛，样品降温过程可在通入一定量保护气体的条件下快速降温，平均降温速率可达到2℃/s，试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成工艺的同时大幅度的降低了间接污染试样的可能性。采用石英管堵维持炉内的温场均匀性及石英舱体内的洁净度。

  伺服电机调速装置用于控制丝杆的转动速度，达到控制炉管部分的整体移动速度（含样件），以此调整快速升降温的目标速率，电机旋转速度实时显示并且精确可控，以获得精确的移动速度，满足降温时工艺参数要求。

  该系统人机界面+PLC控制，10寸液晶屏显，显示器可直接显示真空度、气体流量、热电偶温度、电机旋转速度等信息。

  采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s

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